耐磨复合板的热处理工艺对组织结构影响：随着超大规模集成电路的特征线宽不断减小,导致号传输延时、功耗增大以及互连阻容耦合增大等问题,为了解决这一问题,多孔低(超低)k介电材料越来越引起人们的注意。通过在前驱气体D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉积技术制备出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工艺及后道工艺中,薄膜需要经受400～450℃的热冲击,因此首先对不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的结构、表面形貌和湿水性进行了研究。在真空热处理过程中,热稳定性较差的碳氢基团发生了热解吸,使Si-O-Si网络结构以及链式结构发生交联而形成鼠笼结构,从而提高了薄膜中孔隙的含量,并使薄膜表面更平整。但是,由于碳氢基团的热解吸以及结构的重组降低了薄膜的厚度,并且热解吸还导致薄膜的疏水性能降低。其次真空热处理降低了薄膜的漏电流,并且使SiCOH/Si界面的界面态发生改变。

  NM400耐磨板在500一650℃进行.得到回火索氏体组织，具有较高的强度和韧性相配合的综合力学性能。生产中把淬火后再进行高温回火的处理称为调质处理。调质处理主要用于各种重要的结构零件，使耐磨板的强度、塑性、韧性达到恰当的配合，具有良好的综合力学性能。特别是在交变载荷下工作的连杆、螺栓、螺母、曲轴和齿轮等零件。调质处理还可作为某些精密零件，如丝杠、量具、模具等的预备热处理，以减少终处理过程中的变形。调质钢调质处理后的硬度为25一35HRC。

  NM400耐磨板回火时的组织转变与正火相比.在相同的硬度下，强度、塑性和韧性均显著高于正火状态。因此，重要构件般均用调质处理。调质还常作为表面强化件的预备热处理

慢重熔退火高硬度双金属耐磨衬板组织均匀地削减偏析和钢带，横向袭击显著改进的职能，高品质的钢，以预定的标准的程度。

  本文在以往高强度堆焊耐磨板的基材取金属复合原料研讨的基础上，采取两种新的工艺方法制备了硬质合金增强钢板基耐磨原料。方法一利用电磁感应加热的特点，钢板钢材举办型内加热，使其熔渗到铸型底部布置的硬质合金棒间隙中，获得硬质台金与钢的冶金复合(暂称这种丁艺为感应熔渗工艺)，并历史调处硬质台金棒间距对复合原料的制各工艺举办探讨。方法二利用堆焊技术的特点，将均匀排列、恰当间距的硬质台会棒层层堆焊到低碳钢中，获得硬质合金与钢的冶金复合。应用光学显镜、SEM、FE-SEM、EDX、XRD等手法钢板的复台原料的显组织、界面结构、物牛H组成举办了说明，并对界面结合机理举办了探讨;对不同方法及细致工艺下制各的各复合原料举办了硬度测试说明; ，在常温三体磨料磨损实验机中，对选取的一组复台原料试样举办磨损实验，并与正火45钢作对比，磨损后，对各试样的磨损刻画及磨损机理举办说明。

  研讨后果评释，历史两种制各工艺均能成功制备出硬质合金双金属复台原料，获得硬质台金与钢基体间的冶金结合。感应熔渗工艺中，随着双钢板硬质合金棒间距的减小，熔渗时间需要延长，并且所得复合原料中硬质台金棒表层热影响区将增大。堆焊复合工艺中，所得高强度堆焊耐磨板复合原料的硬质台金与钢基体间存在一个明显的熔焊层。